CAMERA PULITA PERUGIA


Informazioni tecniche



La camera pulita è un laboratorio dell'INFN situato nel dipartimento di Fisica dell'università di Perugia.
E' composta da due unità adiacenti: la camera pulita "A" e la camera pulita "B", collegate fra di loro tramite una porta automatica.
Questa configurazione permette di operare alle due unità sia in maniera indipendente (diverse impostazioni di temperatura ed umidità) sia come un ambiente unico, a seconda delle esigenze specifiche.



 

CAMERA PULITA A

CAMERA PULITA B

Classe di purezza: ISO 7 (FED 209D M 5,5) ISO 7 (FED 209D M 5,5)
Intervallo di temperatura: ± 1°C ± 1°C
Intervallo di umidità: ± 5% ± 5%
Flusso laminare: ISO 5; 4-dim 120x60 cm




Attrezzature della camera pulita


PA 200

Ladder

Mitutoyo BHN506

Mitutoyo 776

Stazione test Kapton

Camalot

Forno

Silicon Survey



Bilancia

Bonding Delvotec

Cappa

Gantry

Kulicke Soffa

Microscopi

Sigillatrice vuoto

Strumenti Keithley

Vasca ultrasuoni

Documenti
Norme generali


Links Utili:

Ultimo aggiornamento: 03.mag.2018